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更新時(shí)間:2019-03-19
點(diǎn)擊次數(shù):397
小型勻膠機(jī) 型號(hào):EZ4
EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制,文本顯示器人機(jī)界面。
EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽氧化鋁面板外殼,PP材料內(nèi)腔,經(jīng)久耐用。
產(chǎn)品性能參數(shù):
支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圓晶)
速度可調(diào)范圍:100-10000rpm
加速度可調(diào)范圍:100-10000rpm/s
轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm
轉(zhuǎn)速精度:<±5rpm
可編程5組5步程序
寬電壓輸入:AC100-230V
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn):
75W 直流無刷電機(jī),單片機(jī)控制
高清晰文本顯示器
可單步和多步勻膠操作
PP耐腐蝕內(nèi)腔,可更換
鋁合金陽氧化外殼,美觀大方
耐溶劑PC透明蓋
多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)
HDPE真空吸盤
產(chǎn)品外型尺寸: 250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)